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Gasonics A93-021-05/D磁控波导模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述该磁控波导模块用于高效传输微波能量，配合磁控管产生稳定的等离子体，广泛应用于微波等离子体处理系统中。应用领域半导体制造等离子体刻蚀工艺中的微波能量传输化学气相沉积（CVD）薄膜生长过程材料表面处理
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