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Gasonics 27-169988-00微波发电机 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述Gasonics 27-169988-00 是一款高性能微波发电机，主要用于提供稳定、高效的微波能量输出，支持多种工业和科研设备中的微波加热与处理需求。应用领域半导体制造用于等离子刻蚀、化学气相沉积
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