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Gasonics AWD-D-1-0-012微波电源 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述：Gasonics AWD-D-1-0-012 是一款用于半导体设备的微波电源模块，主要提供稳定的微波能量，支持等离子体清洗、去胶等工艺。技术参数（典型）：功率输出：具体参数视设备配置而定频率范
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