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Tokyo Electron 1D80-003300-11气门角阀 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：TEL Tokyo Electron 1D80-003300-11 气门角阀 是应用于半导体设备中一种用于精确气体控制的关键部件。该组件在真空或气体处理系统中起着“开/关”和流量调节
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