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TEL Tokyo Electron 2180-020932-11电源单元 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:中文资料:半导体制造设备控制系统:为设备主控制器和各功能模块稳定供电,保证整个系统高效运行。气体供应系统:支持质量流量控制器(MFC)、阀门驱动和传感器的电源需求。真空系统:为真空泵、
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