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KLA Tencor 073-653015-00控制板 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：KLA Tencor 073-653015-00 控制板是一款用于半导体晶圆缺陷检测设备的关键电子模块，主要应用于 KLA Tencor 2132 系列设备中。产品类型部件号：073-653
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