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ZYGO ZMI-4004 测量板 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：ZYGO ZMI-4004 是一款高精度测量板，主要用于干涉测量系统中，以实现纳米级的位移测量和精确定位。ZYGO 公司专注于超精密测量和光学干涉技术，其 ZMI 系列产品广泛应用于半导体制造、光学加工、计量和高
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