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MKS AX8407 臭氧气体发生器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：MKS Instruments 的 SEMOZON® AX8407 是一款高浓度、高流量的臭氧发生器，采用无声放电技术将纯氧转化为臭氧，具有高输出和高浓度水平。该设备仅需极少量的氮气掺杂，氮氧化物（NOx）排放极
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