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LAM 810-102361R216间隙电机控制器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：LAM 810-102361R216 间隙电机控制器 是一款专为半导体制造设备设计的高精度电机控制器，主要用于控制和调节间隙电机（Gap Motor）的运行。它在高精度的运动控制中起到至关重要的作用
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