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Brooks BM38184输入/输出模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：Brooks BM38184 输入/输出模块 是Brooks Automation公司为自动化系统设计的I/O模块，专门用于半导体制造和晶圆处理设备中的数据传输和控制。该模块通过提供多通道的输入/输出接口，
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