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Brooks 02-169208-00晶圆处理机器人 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：Brooks 02-169208-00 晶圆处理机器人 是Brooks Automation公司专为半导体制造和晶圆处理设计的自动化机器人。这款机器人用于在晶圆处理流程中完成精确的搬运、定位和传输，
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