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AMAT 0100-09255 TC联锁1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：AMAT 0100-09255 TC联锁是一种用于半导体制造设备的温度控制联锁系统。在半导体制造过程中，温度控制对于设备的稳定运行和产品的质量具有重要影响。TC联锁系统通过温度传感器和逻辑控制电路实现对设备温度的监控和控制
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