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AMAT 0100-00328 腔室互连1.产 品 资 料 介 绍:中文资料:AMAT 0100-00328 腔室互连是专为半导体制造设备中的腔室互连设计的组件。在半导体制造过程中,腔室是关键的工艺设备,用于实现特定的工艺步骤,如化学气相沉积、物理气相沉积等。腔室互连组件在确保工艺稳定性和设备效率方
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