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ASML 879-0317-005 剂量模块1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：ASML 879-0317-005 剂量模块是ASML公司生产的用于光刻机的剂量模块。它主要用于测量和控制系统中的辐射剂量，确保光刻机在曝光过程中使用正确的辐射剂量，以获得最佳的曝光效果。该剂量模块具有以下特点：高精度
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