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Gasonics 90-1033-02温度控制卡 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品名称Gasonics 90-1033-02 温度控制卡产品应用领域半导体设备温控系统主要用于 Gasonics 等品牌的等离子体清洗机、灰化设备等半导体制造设备中，对工艺腔体温度进行精确控制，确保清洗和