Gasonics AWD-D-1-0-023-007电源模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

产品名称：Gasonics AWD-D-1-0-023-007 电源模块
部件类型：等离子射频电源（RF Plasma Power Supply Module）
主要功能：为 Gasonics 等离子体设备提供高频电源，用于激发并维持工艺腔体内的等离子状态

一、工艺核心：等离子体激发

该模块负责将电能转化为高频射频能量，通过匹配网络耦合至工艺腔体内气体，实现等离子激发，用于清洗、去胶、表面处理等工艺。

关键技术特性（典型，具体以型号为准）：

• 输出功率：通常为 300W–600W

• 频率范围：13.56 MHz（标准工业等离子频率）

• 输出模式：连续波（CW），部分支持脉冲输出

• 冷却方式：强制风冷或风道冷却

二、典型应用工艺

广泛用于半导体制造中的以下环节：

• 光刻后残胶去除（Photoresist Ashing）

• 氧等离子清洗（O₂ Plasma Clean）

• 表面活化与预处理

• 刻蚀辅助工艺（轻度 RIE）

三、系统集成与控制接口

AWD-D-1-0-023-007 通常安装在等离子清洗设备的电气柜中，与主控板、RF 匹配网络、功率检测器协同工作。

主要接口/功能：

• 接收主控系统设定功率或开关信号

• 提供实际输出功率与反射功率监测信号

• 支持过压、过温、驻波保护功能

• 与匹配器自动调谐协同以最小化反射

英文资料：

Product Name: Gasonics AWD-D-1-0-023-007 Power Module

Component type: RF Plasma Power Supply Module

Main function: Provide high-frequency power for Gasonics plasma equipment to excite and maintain the plasma state inside the process chamber

1、 Process core: plasma excitation

This module is responsible for converting electrical energy into high-frequency radio frequency energy, which is coupled to the gas inside the process chamber through a matching network to achieve plasma excitation for processes such as cleaning, debonding, and surface treatment.

Key technical characteristics (typical, specific based on model):

Output power: typically between 300W and 600W

Frequency range: 13.56 MHz (standard industrial plasma frequency)

Output mode: Continuous Wave (CW), partially supports pulse output

Cooling method: forced air cooling or air duct cooling

2、 Typical application process

Widely used in the following stages of semiconductor manufacturing:

Photoresist Ashing after Photolithography

Oxygen plasma cleaning (O ₂ Plasma Clean)

Surface activation and pretreatment

Etching assisted process (mild RIE)

3、 System integration and control interface

AWD-D-1-0-023-007 is usually installed in the electrical cabinet of plasma cleaning equipment, working in conjunction with the main control board, RF matching network, and power detector.

Main interfaces/functions:

Receive power or switch signals set by the main control system

Provide monitoring signals for actual output power and reflected power

Supports overvoltage, over temperature, and standing wave protection functions

Cooperate with the automatic tuning of the matching device to minimize reflection

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ABB UFC760BE142 3BHE004573R0142 控制器模块

GE CK11CE300 接触器

KOLLMORGEN S70602-PBNANA 伺服驱动控制器

4.其他英文产品

GESAS CAN-DCM digital amplifier module

GE IS210BPPBH2CAA Printed Circuit Board

GE IS200AEPAH1AFD Turbine Control Module

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品牌：Gasonics

型号：AWD-D-1-0-023-007电源模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱