Gasonics  RD-323M10步进驱动器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

产品名称：Gasonics RD-323M10 步进驱动器
部件类型：步进电机驱动模块（Stepper Motor Driver Module）
主要用途：控制步进电机的精确动作，实现晶圆在设备内部的平稳移动或升降操作

一、等离子清洗设备中的运动控制系统

该驱动器用于 Gasonics 等离子体处理设备中，驱动步进电机完成晶圆搬运或执行机构的定位运动。

典型应用：

• 负载锁电梯（Load Lock Elevator）的上下移动控制

• Wafer handler 传送平台的水平移动控制

• Valve、shutter（快门）等部件的线性开启/关闭控制

二、晶圆搬运系统的步进电机控制

该驱动器模块被集成在 wafer handling 系统中，实现精准的步进控制，确保晶圆从 FOUP 或 Cassette 到处理腔体的顺利转移。

应用对象：

• 晶圆搬运机械手（Robot Arm）

• 升降台（Elevator Lift）

• XY 水平平台轨道驱动单元

三、控制精度要求高的自动化装置

步进驱动器在处理过程中确保动作同步、定位精准，适用于 Gasonics Aura 系列等对搬运重复精度要求高的工艺。

控制特性：

• 微步驱动（Microstepping）

• 电流限制与过热保护

• 与主控系统通过 TTL 或 PLC 接口联动

英文资料：

Product Name: Gasonics RD-323M10 Stepper Driver

Component type: Stepper Motor Driver Module

Main purpose: To control the precise movement of stepper motors and achieve smooth movement or lifting of wafers inside the equipment

1、 Motion Control System in Plasma Cleaning Equipment

This driver is used in Gasonics plasma processing equipment to drive stepper motors to complete wafer handling or actuator positioning movements.

Typical applications:

Up and down movement control of load lock elevator

Horizontal movement control of wafer handler transfer platform

Linear opening/closing control of components such as valves and shutters

2、 Stepper motor control of wafer handling system

This driver module is integrated into the wafer handling system to achieve precise step control, ensuring smooth transfer of wafers from FOUP or Cassette to the processing chamber.

Application object:

Wafer handling robot arm

Elevator Lift

XY horizontal platform track drive unit

3、 Automation devices with high control accuracy requirements

The stepper driver ensures synchronized actions and precise positioning during the processing, making it suitable for processes such as the Gasonics Aura series that require high precision in handling.

Control characteristics:

Microstepping driver

Current limitation and overheating protection

Linkage with the main control system through TTL or PLC interface

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ABB GDD471A001 接口板模块

BENTLY 3500/22M 146031-01瞬态数据接口模块

KOLLMORGEN AKM42E-EKGNR-01伺服电机

4.其他英文产品

ABB 70AB01c-ES control board

UFC760BE143 inverter high-voltage board

ABB 70EB01b-E digital input module

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品牌：Gasonics

型号： RD-323M10步进驱动器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱