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Gasonics A90-031-03 故障检测模块

Gasonics A90-031-03 故障检测模块

Gasonics A90-031-03 故障检测模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:一、产品概述Gasonics A90-031-03 是专为 Gasonics 等离子设备设计的 故障检测模块,用于实时监控设备各子系统的运行状态,及时发现并报告故障信号。该模块通过采集传感器数据和控制信号,分析异常情况并触发报警,保障设备安全稳定运行,减少意外停机时间,提高生产效率。二、应用领域1. 等...

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Gasonics A90-031-03 故障检测模块

     Gasonics A90-031-03 故障检测模块 PDF资料 

    1.产 品 资 料 介 绍:

    一、产品概述

    Gasonics A90-031-03 是专为 Gasonics 等离子设备设计的 故障检测模块,用于实时监控设备各子系统的运行状态,及时发现并报告故障信号。该模块通过采集传感器数据和控制信号,分析异常情况并触发报警,保障设备安全稳定运行,减少意外停机时间,提高生产效率。


    二、应用领域

    1. 等离子剥离与清洗设备

    • 监控射频电源、电磁阀、气体流量、真空泵等关键部件的工作状态;

    • 实现自动故障识别与报警,支持维护人员快速定位问题。

    2. 自动化晶圆搬运系统

    • 检测机器人手臂、电机驱动和升降平台等执行机构的异常;

    • 确保搬运过程安全,防止晶圆损坏。

    3. 设备整体安全管理

    • 联动系统互锁逻辑,执行紧急停机或故障保护;

    • 记录故障日志,便于后续分析和维护。

    英文资料:

    1、 Product Overview

    Gasonics A90-031-03 is a fault detection module designed specifically for Gasonics plasma equipment, used for real-time monitoring of the operating status of various subsystems of the equipment, timely detection and reporting of fault signals. This module collects sensor data and control signals, analyzes abnormal situations, and triggers alarms to ensure the safe and stable operation of equipment, reduce unexpected downtime, and improve production efficiency.


    2、 Application Fields

    1. Plasma stripping and cleaning equipment

    Monitor the working status of key components such as RF power supply, solenoid valve, gas flow, vacuum pump, etc;


    Realize automatic fault recognition and alarm, and support maintenance personnel to quickly locate problems.


    2. Automated wafer handling system

    Detect anomalies in robot arms, motor drives, and lifting platforms and other actuators;


    Ensure the safety of the handling process and prevent wafer damage.


    3. Overall safety management of equipment

    Interlocking logic of the linkage system, executing emergency shutdown or fault protection;


    Record fault logs for subsequent analysis and maintenance.

    2.产      品      展      示      

    novellus_systems_gasonics_a90-031-03_pcb_plasma_lamp_failure_detection.jpg

    3.其他产品

    GE UR7KH通信模块

    ABB GDB021BE05 光纤接口板

    GE TB43225AF14 断路器

    4.其他英文产品

    ABB 3DDE300417 Input/Output Board

    ABB P8293C adapter module

    ASEA 2668 0002-AE Connection Unit Circui

    6DD1610-0AH36SC6901-2AA00-Z6DD2920-0AD0
    6DD1610-0AH2CACR-SRCA15DZSY214,6DD2920-0AC0
    6DD1610-0AH06SC6103-0SN306DD2920-0AB1
    6DD1610-0AG5CACR-SR30BE12M-U6DD2920-0AB0
    6DD1610-0AG16SC6112-4DA006DD2920-0AA0
    6DD1607-0EA26SC9811-2BE506DD1681-0CB2

    本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网,转载请附上此链接:http://www.jiangxidcs

    品牌:Gasonics


    型号:A90-031-03 故障检测模块


    质保:一年


    成色:全新/二手


    优势产品ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                        WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM


    特点:主营产品各种模块/卡件,控制器,触摸屏,伺服驱动器。


    应用行业:广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等


    快递方式:国内顺丰、德邦、京东快递包邮,按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱 

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