Gasonics A-2000LL 94-2807升降器控制板 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

一、产品概述

Gasonics A-2000LL（型号94-2807） 是专用于等离子处理设备中负载锁腔体的 升降器控制板（Lift Control Board）。该控制板负责驱动和管理负载锁内升降机构的运动，实现晶圆的垂直升降、定位与安全联锁。它通过接收主控制器的指令，协调电机驱动、限位开关和位置反馈传感器，确保晶圆搬运过程平稳精准。

二、应用领域

1. 半导体等离子设备负载锁系统

• 控制负载锁腔内晶圆托盘或升降平台的升降动作；

• 实现与机械手臂、真空门等设备的联动，完成自动化上下片流程。

2. 自动化晶圆处理设备

• 在高洁净度环境下保证升降机构运行稳定、可靠；

• 提供安全保护功能，防止超程、错动作。

英文资料：

1、 Product Overview

Gasonics A-2000LL (model 94-2807) is a Lift Control Board specifically designed for load lock chambers in plasma processing equipment. This control board is responsible for driving and managing the movement of the lifting mechanism inside the load lock, achieving vertical lifting, positioning, and safety interlocking of the wafer. It receives instructions from the main controller, coordinates motor drives, limit switches, and position feedback sensors to ensure a smooth and accurate wafer handling process.

2、 Application Fields

1. Load lock system for semiconductor plasma equipment

Control the lifting action of the wafer tray or lifting platform inside the load lock chamber;

Realize linkage with mechanical arms, vacuum doors, and other equipment to complete automated loading and unloading processes.

2. Automated wafer processing equipment

Ensure stable and reliable operation of the lifting mechanism in a high cleanliness environment;

Provide safety protection function to prevent overtravel and misoperation.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

DALSA  CR-GEN0-M6400R3工业相机

ABB GDD471A001 接口板模块

GE IS200TRLYS1B  输出终端板

4.其他英文产品

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品牌：Gasonics

型号：A-2000LL 94-2807升降器控制板

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱