Gasonics 16383-01 16384-01互锁驱动器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

一、产品概述

Gasonics 16383-01 和 16384-01 是用于 Gasonics 等离子处理设备（如 Aura、PEP 系列）中的专用 互锁驱动器（Interlock Driver Modules）。其主要功能是控制和执行设备各子系统间的联锁逻辑，例如安全门、气路、电源、真空腔体等的启闭状态联动，以确保设备运行过程中的人员安全与工艺完整性。

二、应用领域

1. 等离子清洗与剥离设备

• 控制门锁、真空状态、RF电源等关键部件的互锁状态；

• 例如：在腔体未抽真空时禁止开启射频功率，或在门未关闭时禁止升降平台运行。

2. 负载锁系统与自动搬运平台

• 与晶圆搬运机器人联动，确保载片流程中各部件运行顺序正确；

• 避免晶圆破损或设备误操作。

3. 工艺安全控制系统

• 实现对气体流量、电压状态等异常的自动切断和报警；

• 作为设备整体联锁逻辑的一部分，执行物理层控制。

英文资料：

1、 Product Overview

Gasonics 16383-01 and 16384-01 are specialized interlock driver modules used in Gasonics plasma processing equipment such as Aura and PEP series. Its main function is to control and execute the interlocking logic between various subsystems of the equipment, such as the opening and closing status linkage of safety doors, gas circuits, power supplies, vacuum chambers, etc., to ensure personnel safety and process integrity during equipment operation.

2、 Application Fields

1. Plasma cleaning and stripping equipment

Control the interlocking status of key components such as door locks, vacuum status, RF power supply, etc;

For example, it is prohibited to turn on the RF power when the cavity is not evacuated, or to operate the lifting platform when the door is not closed.

2. Load lock system and automatic handling platform

Linkage with wafer handling robots to ensure the correct operation sequence of each component in the wafer loading process;

Avoid wafer damage or equipment misoperation.

3. Process safety control system

Realize automatic cut-off and alarm for abnormalities in gas flow rate, voltage status, etc;

As part of the overall interlocking logic of the equipment, perform physical layer control.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

Kollmorgen  CB06561 PRD-B040SSLZ-62  伺服控制器

ASEA 2668 180-89控制板

AMAT 0190-73524 伺服驱动器

4.其他英文产品

ABB XTB750B01 output module

RADISYS 061-05927-0031 adapter module

KOLLMORGEN S70602-NANANA servo/driver

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品牌：Gasonics

型号：16383-01 16384-01互锁驱动器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱