Gasonics A06261端点探测器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

一、产品概述

Gasonics A06261 是 Gasonics 等离子处理设备中的专用 端点探测器（Endpoint Detector），用于实时监测工艺过程中的等离子反应状态变化，精准判断工艺“端点”（即反应完成的时间点），从而确保每片晶圆的处理一致性与工艺重复性。此类探测器多采用 光学发射/接收原理（OES, Optical Emission Spectroscopy），可感知等离子体中的特定谱线强度变化。

二、应用领域

1. 等离子剥离设备（Plasma Ashers）

• 实时监控光刻胶去除过程，通过检测特定气体或残留物的变化判断处理是否完成；

• 避免过剥或不足，提高产品良率。

2. 等离子蚀刻设备

• 用于检测蚀刻终点，例如不同材料界面的变化；

• 支持多层结构的精准层控。

3. 半导体晶圆制造生产线

• 集成于晶圆清洗、表面处理等工艺段，保证工艺窗口稳定；

• 提高批量生产的一致性和自动化水平。

英文资料：

1、 Product Overview

Gasonics A06261 is a specialized endpoint detector in Gasonics plasma processing equipment, used to monitor changes in plasma reaction status in real-time during the process, accurately determine the process "endpoint" (i.e. the time point of reaction completion), and ensure consistency and process repeatability in the processing of each wafer. Such detectors often use the Optical Emission Spectroscopy (OES) principle, which can sense specific spectral line intensity changes in plasma.

2、 Application Fields

1. Plasma Ashers equipment

Real time monitoring of photoresist removal process, determining whether the treatment is completed by detecting changes in specific gases or residues;

Avoid over peeling or under peeling to improve product yield.

2. Plasma etching equipment

Used to detect etching endpoints, such as changes in interfaces between different materials;

Support precise layer control for multi-layer structures.

3. Semiconductor wafer manufacturing production line

Integrated into wafer cleaning, surface treatment and other process stages to ensure stable process windows;

Improve the consistency and automation level of mass production.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ASEA SGCP1000脉冲放大器板

Kollmorgen  CB06561 PRD-B040SSLZ-62  伺服控制器

ASEA 2668 180-89控制板

4.其他英文产品

ABB UN0803B-P Printed Circuit Board

ASEA 57520001-U circuit board

ABB XTB750B01 output module

本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网，转载请附上此链接:http://www.jiangxidcs

品牌：Gasonics

型号：A06261端点探测器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱