Gasonics SRW-200-4003电源模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

一、产品概述

Gasonics SRW-200-4003 是一款专为 Gasonics 等离子体处理设备设计的 电源模块（Power Supply Module），其主要功能是为设备中的关键部件（如RF功率放大器、真空泵控制单元、PLC模块、机器人驱动等）提供稳定、精密的电源输出。该模块具备高可靠性和抗干扰能力，适用于高洁净度和电磁环境要求严格的半导体制造场合。

二、应用领域

1. 等离子清洗与剥离设备（如 Gasonics Aura / PEP 系列）

• 为射频发生器、等离子源控制单元提供稳定功率；

• 保障腔体内等离子体均匀、稳定产生。

2. 自动化搬运系统

• 供电给内部的机器人手臂、升降机、电磁阀等执行机构；

• 支持多轴同步控制的供电需求。

3. 负载锁控制系统

• 为真空泵、阀门控制器和门锁系统提供隔离电源；

• 确保气密与工艺转换过程中的设备协调运行。

4. 嵌入式控制和监控模块

• 支持设备的主控系统、触摸屏HMI、电气接口板等低压用电负载；

• 具备过压、过流保护功能。

英文资料：

1、 Product Overview

Gasonics SRW-200-4003 is a power supply module designed specifically for Gasonics plasma processing equipment. Its main function is to provide stable and precise power output for key components in the equipment, such as RF power amplifiers, vacuum pump control units, PLC modules, robot drives, etc. This module has high reliability and anti-interference ability, suitable for semiconductor manufacturing applications with strict requirements for high cleanliness and electromagnetic environment.

2、 Application Fields

1. Plasma cleaning and stripping equipment (such as Gasonics Aura/PEP series)

Provide stable power for RF generators and plasma source control units;

Ensure uniform and stable generation of plasma inside the cavity.

2. Automated handling system

Provide power to internal robotic arms, elevators, solenoid valves, and other actuators;

Support power supply requirements for multi axis synchronous control.

3. Load lock control system

Provide isolated power supply for vacuum pumps, valve controllers, and door lock systems;

Ensure the coordinated operation of equipment during airtightness and process conversion.

4. Embedded control and monitoring module

Support low-voltage electrical loads such as the main control system, touch screen HMI, and electrical interface board of the device;

Equipped with overvoltage and overcurrent protection functions.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ASEA DSQC215机器人控制板

GE IS220PSCAH1A 模拟输入/输出模块

ASEA SGCP1000脉冲放大器板

4.其他英文产品

RADISYS 061-01450-0010 Network Adapter

Teknic SST-1500-XCX Digital Servo Drive

Metrix 5533-104 Sensor

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品牌：Gasonics

型号：SRW-200-4003电源模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱