Gasonics A95-104-03升降机模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

一、产品概述

Gasonics A95-104-03 是 Gasonics 等离子处理设备中的关键执行部件之一，属于 升降机模块（Lift Mechanism Module）。其主要功能是驱动载片平台（如晶圆托盘）在工艺腔体或负载锁腔内进行垂直升降运动，以实现晶圆的精准上下片、位置对准或与机器人手臂配合操作。该模块通常包含电动或气动驱动机构、导轨、限位开关及位置反馈系统。

二、应用领域

1. 等离子剥离/清洗设备（如 Gasonics Aura/PEP 系列）

• 控制晶圆在反应腔内的升降，配合气体流入和等离子体处理节奏；

• 在真空环境中完成晶圆装载与卸载。

2. 负载锁腔体系统

• 实现晶圆从 Loadlock 到处理腔之间的垂直搬运配合；

• 与真空门、机器人手臂联动，提升自动化程度。

3. 工艺处理平台的定位/对位机构

• 提供精确的 Z 轴调整，保证晶圆与电极或喷嘴之间的间距稳定；

• 适用于表面处理、刻蚀、灰化等多个工艺环节。

英文资料：

1、 Product Overview

Gasonics A95-104-03 is one of the key executing components in Gasonics plasma processing equipment, belonging to the Lift Mechanism Module. Its main function is to drive the wafer platform (such as wafer tray) to perform vertical lifting and lowering movements in the process chamber or load lock chamber, in order to achieve precise wafer loading and unloading, position alignment, or coordinated operation with robot arms. This module typically includes electric or pneumatic drive mechanisms, guide rails, limit switches, and position feedback systems.

2、 Application Fields

1. Plasma stripping/cleaning equipment (such as Gasonics Aura/PEP series)

Control the lifting and lowering of the wafer in the reaction chamber, in conjunction with the flow of gas and the rhythm of plasma processing;

Complete wafer loading and unloading in a vacuum environment.

2. Load lock chamber system

Realize vertical handling coordination between wafers from Loadlock to processing chambers;

Linkage with vacuum doors and robotic arms to enhance automation level.

3. Positioning/Alignment Mechanism of Process Processing Platform

Provide precise Z-axis adjustment to ensure stable spacing between the wafer and electrodes or nozzles;

Suitable for multiple process steps such as surface treatment, etching, ashing, etc.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

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4.其他英文产品

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品牌：Gasonics

型号：A95-104-03升降机模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱