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Gasonics  94-3441负载锁外门

Gasonics 94-3441负载锁外门

Gasonics 94-3441负载锁外门 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:Gasonics 94-3441 负载锁外门产品功能:作为 Gasonics 等离子体设备中负载锁腔体(Load Lock Chamber)的外部隔离门使用实现晶圆在进入或退出设备前与外部环境的物理隔离与设备内部的真空系统、升降电梯、机器人协同工作,保证在真空与大气之间安全、高效转移晶圆提供气密性保护,防止微粒、...

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Gasonics 94-3441负载锁外门

    Gasonics  94-3441负载锁外门 PDF资料 

    1.产 品 资 料 介 绍:

    Gasonics 94-3441 负载锁外门

    产品功能:

    • 作为 Gasonics 等离子体设备中负载锁腔体(Load Lock Chamber)的外部隔离门使用

    • 实现晶圆在进入或退出设备前与外部环境的物理隔离

    • 与设备内部的真空系统、升降电梯、机器人协同工作,保证在真空与大气之间安全、高效转移晶圆

    • 提供气密性保护,防止微粒、湿气、氧气等污染物进入负载锁区域


    应用领域:

    • 半导体制造设备:晶圆上下料系统

    • 等离子体剥离设备:如 AURA、A-2000、PEP 等系列中用于晶圆封闭转移

    • 真空工艺平台:包括前段工艺处理设备、预清洗、蚀刻与封装清洗系统

    • 洁净室自动化系统:需要腔体与外部环境快速切换的封闭门系统


    特点:

    • 工业级铝合金或不锈钢结构,耐腐蚀、强度高

    • 配备高可靠性密封圈,确保高真空环境稳定运行

    • 支持与机械臂、负载锁电梯联动的自动启闭机制

    • 结构紧凑,安装维护方便,适配多种 Gasonics 系列设备

    英文资料:

    Gasonics 94-3441 Load Lock Outer Door


    Product Features:

    Used as an external isolation door for the Load Lock Chamber in Gasonics plasma equipment


    Implement physical isolation of wafers from the external environment before entering or exiting the equipment


    Collaborate with the vacuum system, elevators, and robots inside the equipment to ensure safe and efficient transfer of wafers between vacuum and atmosphere


    Provide air tightness protection to prevent particles, moisture, oxygen and other pollutants from entering the load lock area


    Application areas:

    Semiconductor manufacturing equipment: wafer loading and unloading system


    Plasma stripping equipment: used for wafer enclosed transfer in series such as AURA, A-2000, PEP, etc


    Vacuum process platform: including front-end processing equipment, pre cleaning, etching, and packaging cleaning systems


    Cleanroom automation system: a closed door system that requires rapid switching between the chamber and the external environment


    characteristic:

    Industrial grade aluminum alloy or stainless steel structure, corrosion-resistant and high strength


    Equipped with high reliability sealing rings to ensure stable operation in high vacuum environments


    Support automatic opening and closing mechanism linked with robotic arm and load lock elevator


    Compact structure, easy installation and maintenance, compatible with various Gasonics series equipment

    2.产      品      展      示      

    novellus_94-3441_assy_load_lock_external_door_233771191_gasonics_170653_1.jpg

    3.其他产品

    ABB GVC714A101冗余连接器

    Asea YM321001-AN Pcb电路板

    GE ENERGY HYDRAN H201Ci-1 单通道控制器

    4.其他英文产品

    IC3600EPSS1B power supply boar

    PWB218A9392G1 power module

    ASEA DSMC110 Control Board

    745-W3-P155-G5-HI-A-L-E-H8030-ROM-12146088608
    745-W2-P5-G5-HI-R-T8030-RIM-7316AV3971-1BA01-0CA0
    745-W2-P5-G5-HI-A-R-E8030-RIM-3616AV35151MA201AA0
    745-W2-P5-G5-HI-AR8030-RIM-123710-609995-002
    745-W2-P5-G5-HI-A-L-R-E8030-RIM-121X-AI 32 02
    745-W2-P5-G5-HI-A-E-H8030-RIM-101X-FTA 009 02L
    745-W2-P5-G5-HI-A-E8030-R1M-185AX-FTA 008 02L

    本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网,转载请附上此链接:http://www.jiangxidcs

    品牌:Gasonics


    型号:94-3441负载锁外门


    质保:一年


    成色:全新/二手


    优势产品ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                        WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM


    特点:主营产品各种模块/卡件,控制器,触摸屏,伺服驱动器。


    应用行业:广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等


    快递方式:国内顺丰、德邦、京东快递包邮,按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱 

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