Gasonics 17305-01发动机 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

产品名称：
Gasonics 17305-01 微波电源发电机

产品概述：
Gasonics 17305-01 是一款应用于等离子体处理设备（如 Aura 3000/3010 系列）的微波发电模块。该装置主要负责生成高频微波能量，用于激发等离子体，从而实现晶圆清洗、去胶等工艺。

技术参数（典型）：

• 功率等级：约 1250W 至 2000W

• 输出频率：标准工业微波频段（常为2.45 GHz）

• 输入电压：200–240V AC，单相或三相（视设备配置）

• 接口类型：微波输出接口 + 控制信号端口

• 结构形式：模块化设计，适配 Gasonics 系列主机系统

应用领域：

1. 半导体等离子体清洗工艺（如光刻胶剥离）

2. Gasonics Aura 3000/3010 等设备中的微波功率单元

3. 工艺开发实验室及晶圆制造产线中的等离子体支持系统

4. 微电子、MEMS、封装前处理相关制造设备

产品优势：

• 输出稳定，确保等离子体激发质量

• 与原厂设备高度兼容

• 支持模块化替换与维护

• 适应洁净室及工业级运行环境

英文资料：

Product Name:

Gasonics 17305-01 Microwave Power Generator

Product Overview:

Gasonics 17305-01 is a microwave power generation module used in plasma processing equipment such as the Aura 3000/3010 series. This device is mainly responsible for generating high-frequency microwave energy for exciting plasma, thereby achieving processes such as wafer cleaning and debonding.

Technical parameters (typical):

Power level: approximately 1250W to 2000W

Output frequency: Standard industrial microwave frequency band (usually 2.45 GHz)

Input voltage: 200-240V AC, single-phase or three-phase (depending on equipment configuration)

Interface type: microwave output interface+control signal port

Structural form: Modular design, compatible with Gasonics series host systems

Application areas:

Semiconductor plasma cleaning process (such as photoresist stripping)

Microwave power units in equipment such as Gasonics Aura 3000/3010

Plasma support system in process development laboratory and wafer manufacturing production line

Microelectronics MEMS、 Pre packaging processing related manufacturing equipment

Product advantages:

Stable output ensures plasma excitation quality

Highly compatible with original equipment

Support modular replacement and maintenance

Adapt to cleanroom and industrial grade operating environments

2.产      品      展      示      

3.其他产品

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4.其他英文产品

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品牌：Gasonics

型号：17305-01发动机

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱