Gasonics  15132-01机器人晶圆移动器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

产品概述：
Gasonics AWG-1-5-001 是一款用于半导体设备的增量式编码器，主要负责测量机械部件的位置和角度，提供精确的运动反馈，用于控制系统的闭环定位。

技术参数（典型）：

• 编码类型：增量式

• 输出信号：数字脉冲信号

• 分辨率：具体参数视设备而定

• 接口形式：标准工业连接器

• 适用环境：洁净室和半导体加工环境

应用场景：

1. 晶圆搬运机械臂位置反馈

2. 等离子体设备机械运动控制

3. 自动化生产线精确定位监测

产品优势：

• 精度高，响应快

• 适应半导体制造环境

• 结构紧凑，便于安装

英文资料：

Product Overview:

Gasonics AWG-1-5-001 is an incremental encoder used in semiconductor equipment, mainly responsible for measuring the position and angle of mechanical components, providing accurate motion feedback, and used for closed-loop positioning of control systems.

Technical parameters (typical):

Encoding type: incremental

Output signal: digital pulse signal

Resolution: Specific parameters depend on the device

Interface form: Standard industrial connector

Applicable environment: cleanroom and semiconductor processing environment

Application scenarios:

Position feedback of wafer handling robotic arm

Mechanical motion control of plasma equipment

Accurate positioning and monitoring of automated production lines

Product advantages:

High precision, fast response

Adapt to the semiconductor manufacturing environment

Compact structure, easy to install

2.产      品      展      示      

3.其他产品

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品牌：Gasonics

型号：AWG-1-5-001编码器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱