Tokyo Electron 3M80-001588-12处理器模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

产品名称

TEL Tokyo Electron 3M80-001588-12 处理器模块

所属设备

适用于 Tokyo Electron 半导体制造设备，特别是 SW300B 系统中的一部分。

模块作用

该模块属于 AIO2（多功能输入/输出）子板，安装于主控制板（如 32M81-023609-15）上，负责：

• 数据采集与传输

• 控制逻辑处理

• 信号输入/输出协调

• 与其他子模块协作完成系统控制任务

应用领域

广泛应用于 Tokyo Electron 的刻蚀机、薄膜沉积设备、清洗系统等半导体前端工艺设备中，执行以下任务：

• 控制气体流量、温度、电压、电流等参数

• 接收传感器信号并传输至主控系统

• 控制执行元件的逻辑行为（如真空阀、RF功率输出等）

技术特性（推测）

由于为专用模块，未公开详细参数，但一般具备以下特征：

• 高可靠性工业级 PCB

• 配合主控板使用，不独立运行

• 具备一定防静电、抗干扰能力

• 使用特定总线或专有协议与系统通信

英文资料：

product name

TEL Tokyo Electron 3M80-001588-12 processor module

Belonging equipment

Suitable for Tokyo Electron semiconductor manufacturing equipment, especially as part of the SW300B system.

Module function

This module belongs to the AIO2 (Multi functional Input/Output) sub board and is installed on the main control board (such as 32M81-023609-15). It is responsible for:

Data collection and transmission

Control logic processing

Signal input/output coordination

Collaborate with other submodules to complete system control tasks

application area 

Widely used in Tokyo Electron's etching machines, thin film deposition equipment, cleaning systems, and other semiconductor front-end process equipment to perform the following tasks:

Control gas flow rate, temperature, voltage, current and other parameters

Receive sensor signals and transmit them to the main control system

Control the logical behavior of executing components (such as vacuum valves, RF power output, etc.)

Technical characteristics (speculation)

Due to being a dedicated module, detailed parameters have not been disclosed, but it generally has the following characteristics:

High reliability industrial grade PCB

Used in conjunction with the main control board, not running independently

Having certain anti-static and anti-interference capabilities

Communicate with the system using a specific bus or proprietary protocol

2.产      品      展      示      

3.其他产品

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4.其他英文产品

Gespac GESOUT-3 OUT-3B Controller Module

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：3M80-001588-12处理器模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱