Tokyo Electron 2L39-000066-31温度控制器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

TEL Tokyo Electron 2L39-000066-31 温度控制器
（Temperature Controller）

产品功能简介：

该温度控制器是 Tokyo Electron（TEL）半导体制造设备中的关键控制单元，用于实现对设备内部关键部件或工艺腔体的精准温度调节。主要功能包括：

• 采集热电偶、热阻（RTD）等温度传感器的信号

• 通过 PID 控制算法实现加热器或冷却系统的精准温度调节

• 提供多段温度设定与自动切换功能，适应复杂工艺需求

• 具备过温报警、异常保护与故障诊断功能

• 支持与主控系统的通信接口，实现远程监控与参数调整

主要应用领域：

1. 半导体工艺腔体温度控制

• 精准控制 CVD、PVD、蚀刻等设备反应腔内的温度环境

• 确保工艺过程的温度稳定性，提高产品良率

2. 晶圆处理设备加热单元

• 管理晶圆平台、对位台、载具的加热与温度维护

• 控制预热器、温度均衡装置的运行状态

3. 真空系统温度管理

• 控制真空阀体、管路或密封件的温度，防止结露或材料变形

• 确保系统运行的环境安全与稳定

英文资料：

TEL Tokyo Electron 2L39-00006-31 Temperature Controller

（Temperature Controller）

Product Function Introduction:

This temperature controller is a key control unit in Tokyo Electron (TEL) semiconductor manufacturing equipment, used to achieve precise temperature regulation of key components or process chambers inside the equipment. The main functions include:

Collect signals from temperature sensors such as thermocouples and thermal resistance detectors (RTDs)

Accurate temperature regulation of heaters or cooling systems through PID control algorithm

Provide multiple temperature settings and automatic switching functions to meet complex process requirements

Equipped with over temperature alarm, abnormal protection, and fault diagnosis functions

Support communication interface with the main control system to achieve remote monitoring and parameter adjustment

Main application areas:

1. Temperature control of semiconductor process chamber

Accurately control the temperature environment inside the reaction chamber of CVD, PVD, etching and other equipment

Ensure temperature stability during the manufacturing process and improve product yield

2. Heating unit of wafer processing equipment

Manage the heating and temperature maintenance of wafer platforms, alignment stations, and carriers

Control the operation status of preheater and temperature balance device

3. Temperature management of vacuum system

Control the temperature of vacuum valve bodies, pipelines, or seals to prevent condensation or material deformation

Ensure the safety and stability of the system's operating environment

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ABB GVC714A101冗余连接器

ABB GVC707AE01励磁IGCT可控硅

ASEA YYT-102-D伺服控制板

4.其他英文产品

ASEA DSCA121 Robot Control Board

KOLLMORGEN CP310250 servo driver

IC3600SVZA1B control board

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：2L39-000066-31温度控制器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱