Tokyo Electron 1380-002161-12控制器模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

TEL Tokyo Electron 1380-002161-12 控制器模块简介

一、基本信息

• 型号：1380-002161-12

• 别名：INR-244-112D / CIRCULATOR

• 制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）

• 用途：主要用于半导体制造设备中的流体循环控制系统

二、功能特点

1. 流体循环控制
   该控制器模块负责调节设备中流体（如冷却液或气体）的循环，保证工艺系统的稳定运行。

2. 信号处理与控制
   实现对相关传感器数据的接收和处理，控制流体泵、阀门等执行机构的动作。

3. 设备兼容性
   适配多种TEL半导体设备，如Etcher、CVD、ALD等系统。

三、应用领域

• 半导体制造设备的流体循环管理

• 设备维护与替换备件

• 生产工艺稳定性提升

四、使用注意事项

• 安装兼容性：更换时请确认该模块与设备型号匹配，避免因接口或信号不兼容产生故障。

• 安装规范：按照设备厂商说明进行安装，确保接线正确，固定牢靠。

• 运行监控：初次投入运行时应进行功能测试，确保流体循环控制正常。

• 定期维护：建议定期检查模块状态，清洁连接点，保障系统长期稳定运行。

英文资料：

Introduction to TEL Tokyo Electron 1380-002161-12 Controller Module

1、 Basic Information

Model: 1380-002161-12

Alias: INR-244-112D/CIRCULATOR

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Purpose: Mainly used for fluid circulation control systems in semiconductor manufacturing equipment

2、 Functional Features

Fluid circulation control

This controller module is responsible for regulating the circulation of fluids (such as coolant or gas) in the equipment to ensure the stable operation of the process system.

Signal Processing and Control

Realize the reception and processing of relevant sensor data, and control the actions of fluid pumps, valves, and other actuators.

device compatibility

Compatible with various TEL semiconductor devices, such as Etcher, CVD, ALD, and other systems.

3、 Application Fields

Fluid circulation management of semiconductor manufacturing equipment

Equipment maintenance and replacement of spare parts

Improvement of production process stability

4、 Precautions for use

Installation compatibility: When replacing, please confirm that the module matches the device model to avoid malfunctions caused by incompatible interfaces or signals.

Installation specifications: Install according to the equipment manufacturer's instructions, ensuring correct wiring and secure fixation.

Operation monitoring: Functional testing should be conducted upon initial operation to ensure proper fluid circulation control.

Regular maintenance: It is recommended to regularly check the module status, clean the connection points, and ensure the long-term stable operation of the system.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

KOLLMORGEN S70601-SE 数字量输出模件

ABB 1TGE120011R2200 电机馈线控制单元

GE IS220UCSAH1A 处理器模块

4.其他英文产品

ASEA DSMC110 Control Board

AMAT 0190-11415 Digital Input Module

ASEA 2668 184-447 Communication Module

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：3D81-000045-12 PCB板

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱