Tokyo Electron 11-14259-01热力板  PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

TEL Tokyo Electron 11-14259-01 热力板（Heater Plate） 是一款专用于半导体制造设备中的加热模块部件，主要作用是在工艺腔体中对晶圆进行均匀加热，以满足特定工艺条件下对温度控制的精度要求。它通常安装于反应腔体、加热台（hot chuck）或其他热处理组件中，是设备温控系统的重要组成部分。

一、基本信息

• 产品型号： 11-14259-01

• 产品名称： 热力板 / 加热板（Heater Plate）

• 制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）

• 类型： 工艺加热元件，用于高精度温控需求

二、主要功能

1. 加热功能

• 对晶圆或工艺区域提供均匀、稳定的热源，支持设置不同温度区段。

2. 温度控制接口

• 搭载热电偶（Thermocouple）或RTD等温度传感器，配合温控系统实现闭环控制。

3. 热均匀性保障

• 材料通常选用高导热性金属或陶瓷，表面处理精密，确保热分布均匀。

4. 工艺支持

• 支持CVD、ALD、干法蚀刻、退火、预热等高温相关制程环节。

英文资料：

TEL Tokyo Electron 11-14259-01 Heater Plate is a heating module component specifically designed for semiconductor manufacturing equipment. Its main function is to uniformly heat wafers in the process chamber to meet the precision requirements for temperature control under specific process conditions. It is usually installed in the reaction chamber, hot chuck, or other heat treatment components and is an important component of the equipment temperature control system.

1、 Basic Information

Product Model: 11-14259-01

Product Name: Heater Plate

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Type: Process heating element, used for high-precision temperature control requirements

2、 Main functions

Heating function

Provide a uniform and stable heat source for the wafer or process area, and support setting different temperature ranges.

Temperature control interface

Equipped with temperature sensors such as thermocouples or RTDs, and combined with a temperature control system to achieve closed-loop control.

Thermal uniformity guarantee

Materials are usually made of high thermal conductivity metals or ceramics, with precise surface treatment to ensure uniform heat distribution.

Process support

Support high-temperature related process steps such as CVD, ALD, dry etching, annealing, preheating, etc.

2.产      品      展      示      

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：11-14259-01热力板

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱