Tokyo Electron 3M81-004199-11数字输入模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
TEL Tokyo Electron 3M81-004199-11 数字输入模块 是一款用于半导体设备中的DI（Digital Input）采集模块，主要功能是将现场设备的开关量信号（如传感器、按钮、限位开关等）采集并传送给主控制系统。该模块在设备自动控制中承担关键“状态检测”角色，是设备逻辑控制的重要基础。
一、产品基本信息
型号： 3M81-004199-11
名称： 数字输入模块（Digital Input Module）
制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）
用途： 采集外部开关状态信号并传输至设备主控系统
二、核心功能
数字信号采集
读取来自现场设备的二进制信号（如 ON/OFF、High/Low）。
与主控制单元通信
将采集的状态信号实时上传至 CPU 模块或PLC系统。
电气隔离保护
每一路输入端口通常具备光耦隔离功能，提高系统抗干扰性能和电气安全性。
用于逻辑判断与控制决策
通过逻辑编程，实现如安全联锁、状态判断、流程控制等功能。
三、应用领域
该模块广泛应用于 TEL 的多种半导体设备 中，典型使用场景包括：
1. 设备机械结构监测
检测门盖开关、舱体锁定、定位器到位、搬运机械动作完成等状态。
2. 气体和液体系统状态反馈
读取阀门开关状态、气体流路切换信号、压力开关触发状态等。
3. 安全与故障联锁
采集安全门、急停开关、异常报警触点等输入信号，形成保护机制。
4. 控制流程驱动依据
作为设备启动/停止、步骤转换、自动运行逻辑的触发输入来源。
英文资料：
The TEL Tokyo Electron 3884-200219-31 CPU module is a core control unit used in semiconductor manufacturing equipment, mainly responsible for system operations, signal processing, equipment control, and other functions. It belongs to the brain part of the equipment. This module is typically integrated into the main control framework of TEL, used to coordinate and manage various subsystems such as gas control, temperature control, motion control, etc.
1、 Basic Product Information
Model: 3884-200219-31
Product Name: CPU Module/Central Processing Module
Manufacturer: Tokyo Electron (TEL)
Adaptation platform: TEL dedicated semiconductor equipment, such as deposition equipment (CVD), etching machines, cleaning equipment, etc
2、 Function and Function
Central Processing Unit
Manage all device sub modules, such as gas flow control, power system, I/O interfaces, user interfaces, etc.
Run device control software to achieve sequential logic and real-time task scheduling.
I/O signal management
Communicate with peripheral devices through buses such as VME, PCI, PXI, etc.
Receive sensor signals and control actuator actions.
Communication with Human Machine Interface (HMI)
Provide interface support for status display, alarm, parameter settings, etc.
Running the operating system
May run embedded real-time operating systems (such as VxWorks, QNX, or TEL custom RTOS), supporting stable control performance.
2.产 品 展 示
3.其他产品
KOLLMORGEN PC834-001-T 无刷伺服驱动器
4.其他英文产品
ASEA DSQC108 controller backplane
FOXBORO RH926GH Control Input Card
Fanuc A06B-6115-H006 servo drive
| PMA24D-10100-00 | AMAT 0100-09081 | PFTL 101AER-2.0KN |
| PMA24D-00100-00 | AMAT 0100-20091 | PFTL 301E-0.2 |
| PMA24C-11100-00 | AMAT 0100-20321 | PFTL 101AE-1.0KN |
| PMA24C-10100-00 | AMAT 0100-20054 | PFTC 101X |
| PMA24C-00100-00 | AMAT 0100-20060 | PFEA113-65 3BSE050092R65 |
| PMA240-1150B-02 | AMAT 0100-00127 | PFTL101A-0.5KN 3BSE004166R1 |
