Tokyo Electron 370-5396-03控制器单元 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
Tokyo Electron 370-5396-03 控制器单元（Controller Unit） 是应用于 TEL 半导体设备中的关键控制模块，主要用于执行工艺流程逻辑、管理子系统协调、采集设备运行状态，并通过通信接口与上位系统或人机界面实现联动控制。
该控制器单元常集成于 TEL 的刻蚀（Etch）、薄膜沉积（CVD/ALD）、清洗（Wet Bench）、搬运系统（EFEM）等设备的主控制平台，具备高可靠性、高抗干扰能力和工业级控制性能。
一、基本信息
产品型号： 370-5396-03
产品名称： 控制器单元（Controller Unit）
制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）
模块类型： 工业控制处理单元（IPC 或嵌入式系统）
集成方式： 模块化控制架构（如E244系统或独立控制柜）
二、核心功能
工艺流程控制
执行预设的设备流程逻辑，如气体注入顺序、温度控制、腔体抽真空、晶圆搬运指令等；
与工艺模块（如气路、温控、电源单元）协同运行。
输入/输出管理
管理多个 I/O 模块（如数字输入/输出、模拟量采集等）；
采集设备状态信息（传感器信号、门锁状态、气阀动作等）。
通信协调
提供与上位机（如MES系统）或TEL内部其他控制板（如BX81、E249等）的通信接口；
支持以太网、RS232、背板总线等多种通信方式。
实时数据处理与报警
对运行数据实时处理、分析异常状态、输出警报或联锁保护；
提供接口与 HMI 面板连接，用于操作显示和数据交互。
英文资料：
The Tokyo Electron 370-5396-03 Controller Unit is a key control module applied in TEL semiconductor equipment, mainly used to execute process flow logic, coordinate management subsystems, collect equipment operating status, and achieve linkage control with the upper system or human-machine interface through communication interfaces.
This controller unit is often integrated into the main control platform of TEL's etching (Etch), thin film deposition (CVD/ALD), cleaning (Wet Bench), handling system (EFEM) and other equipment, with high reliability, high anti-interference ability and industrial grade control performance.
1、 Basic Information
Product model: 370-5396-03
Product Name: Controller Unit
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
Module type: Industrial Control Processing Unit (IPC or Embedded System)
Integration method: Modular control architecture (such as E244 system or independent control cabinet)
2、 Core functions
Process control
Execute preset equipment flow logic, such as gas injection sequence, temperature control, chamber vacuum, wafer handling instructions, etc;
Works in conjunction with process modules such as gas circuits, temperature control, and power supply units.
Input/Output Management
Manage multiple I/O modules (such as digital input/output, analog acquisition, etc.);
Collect device status information (sensor signals, door lock status, air valve action, etc.).
Communication coordination
Provide communication interfaces with the upper computer (such as MES system) or other control boards within TEL (such as BX81, E249, etc.);
Supports Ethernet RS232、 Multiple communication methods such as backplane bus.
Real time data processing and alarm
Real time processing of operational data, analysis of abnormal states, output of alarms or interlock protection;
Provide interface and HMI panel connection for operation display and data interaction.
2.产 品 展 示
3.其他产品
4.其他英文产品
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