Tokyo Electron 1D81-000381-16模拟输入电子模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

TEL Tokyo Electron 1D81-000381-16 模拟输入电子模块 是一款用于东京电子（TEL）半导体设备中的高精度模拟信号采集单元，主要功能是接收来自各类模拟传感器（如温度、压力、流量、电压/电流信号等）的输入数据，并将其转换为可供控制系统处理的标准电信号。该模块是TEL设备实现高稳定性、高精度工艺控制的关键电子部件之一。

一、产品概述

二、核心功能

1. 模拟信号采集

• 支持多通道模拟输入，通常用于读取温度传感器（如热电偶、RTD）、压力传感器、流量计等设备信号；

• 可采集电压（如 0–10V）、电流（如 4–20mA）等工业标准信号。

2. A/D转换与标准化输出

• 内部集成高精度模数转换器（ADC），将模拟量实时转换为数字信号；

• 转换后的数据可直接供主控系统读取，实现实时监控与控制。

3. 系统集成与反馈

• 采集的数据可作为闭环控制系统的反馈输入，辅助实现 PID 控制、报警判断等功能；

• 与TEL主控板（CPU模块、逻辑处理模块等）进行通信，构建完整数据链路。

三、典型应用场景

1. 温控系统

• 采集晶圆加热台、腔体壁面、流体输送路径等温区的实时温度数据。

2. 压力/气体流量监测

• 接入压力变送器、流量计等传感器，监测工艺腔体、气体通道的运行状态。

3. 工艺设备状态检测

• 检测清洗液液位、电源输出电压、化学气体浓度等关键工艺参数。

英文资料：

TEL Tokyo Electron 1D81-0000381-16 Analog Input Electronic Module is a high-precision analog signal acquisition unit used in Tokyo Electronics (TEL) semiconductor equipment. Its main function is to receive input data from various analog sensors (such as temperature, pressure, flow, voltage/current signals, etc.) and convert it into standard electrical signals that can be processed by the control system. This module is one of the key electronic components for TEL devices to achieve high stability and precision process control.

1、 Product Overview

Project Content

Product Name Analog Input Module

Product Model 1D81-000381-16

Manufacturer Tokyo Electron Ltd

Application category data acquisition and signal interface module

2、 Core functions

Analog signal acquisition

Supports multi-channel analog input, usually used to read signals from temperature sensors (such as thermocouples, RTDs), pressure sensors, flow meters, and other devices;

It can collect industrial standard signals such as voltage (e.g. 0-10V) and current (e.g. 4-20mA).

A/D conversion and standardized output

Internally integrated high-precision analog-to-digital converter (ADC), which converts analog signals into digital signals in real-time;

The converted data can be directly read by the main control system to achieve real-time monitoring and control.

System integration and feedback

The collected data can be used as feedback input for closed-loop control systems, assisting in PID control, alarm judgment, and other functions;

Communicate with the TEL main control board (CPU module, logic processing module, etc.) to establish a complete data link.

3、 Typical application scenarios

temperature control

Collect real-time temperature data of the wafer heating stage, chamber wall, and isothermal zone of the fluid transport path.

Pressure/gas flow monitoring

Connect pressure transmitters, flow meters, and other sensors to monitor the operating status of process chambers and gas channels.

Process equipment status detection

Detect key process parameters such as cleaning solution level, power output voltage, and chemical gas concentration.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ASEA SGCP1000脉冲放大器板

Kollmorgen  CB06561 PRD-B040SSLZ-62  伺服控制器

ASEA 2668 180-89控制板

4.其他英文产品

ABB XTB750B01 output module

RADISYS 061-05927-0031 adapter module

KOLLMORGEN S70602-NANANA servo/driver

本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网，转载请附上此链接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron

型号：1D81-000381-16模拟输入电子模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱