Tokyo Electron E249-000003-11屏幕显示模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
产品名称：E249-000003-11 屏幕显示模块
制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子）
产品类型：人机界面显示模块（HMI Display Module）
一、产品概述
E249-000003-11 是 Tokyo Electron 半导体设备中用于现场状态监控与操作界面显示的人机交互显示模块。该模块为操作员提供可视化界面，用于显示设备运行状态、报警信息、工艺参数，以及进行基础控制操作，是控制系统与用户之间的关键交互窗口。
二、核心功能
实时数据可视化显示
显示当前工艺参数、设备状态（如温度、压力、阀门开闭、马达运行等）。
用户操作界面
提供菜单、按钮、选择项等图形化界面，供操作员进行设备参数设置、启动、暂停、复位等操作。
报警与提示信息
实时弹出异常信息、报警代码，辅助维护人员快速定位问题。
系统菜单导航
嵌入式系统控制菜单，支持功能分级、密码访问控制等。
通信功能
与主控 CPU、PLC 或控制器模块通讯，接收或发送控制指令与数据显示。
三、典型应用设备
该模块广泛应用于以下 TEL 设备或子系统中：
蚀刻设备（Etcher）控制台
CVD/PVD 薄膜沉积系统的工艺显示界面
涂胶/显影设备（Coater/Developer）操作终端
真空腔体、气体面板、传输系统的控制站
英文资料：
Product Name: E249-000003-11 Screen Display Module
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
Product Type: HMI Display Module
1、 Product Overview
E249-000003-11 is a human-machine interaction display module used for on-site status monitoring and operation interface display in Tokyo Electron semiconductor equipment. This module provides a visual interface for operators to display equipment operating status, alarm information, process parameters, and perform basic control operations. It is a key interaction window between the control system and users.
2、 Core functions
Real time data visualization display
Display current process parameters and equipment status (such as temperature, pressure, valve opening and closing, motor operation, etc.).
User interface
Provide graphical interfaces such as menus, buttons, and selection options for operators to set device parameters, start, pause, reset, and perform other operations.
Alarm and prompt information
Real time pop-up of abnormal information and alarm codes to assist maintenance personnel in quickly locating problems.
System menu navigation
Embedded system control menu, supporting function grading, password access control, etc.
communication function
Communicate with the main control CPU, PLC or controller module, receive or send control instructions and data display.
3、 Typical application devices
This module is widely used in the following TEL devices or subsystems:
Etcher Console
Process Display Interface of CVD/PVD Thin Film Deposition System
Coater/Developer operation terminal
Control stations for vacuum chambers, gas panels, and transmission systems
2.产 品 展 示
3.其他产品
ABB SM810K01 3BSE030928R1总线互连模块
4.其他英文产品
Radisys EPC-3307 processor board
| 345-E-P1-G1-H-E-S-N-N-1E-N-N | AMAT 0100-77064 | 067-11732-0003 |
| 33VM82-020-19 | AMAT 0100-01884 | CE3100-423-0 |
| 33VM82-020-15 | 6SC9836-0FA03 | 04-1086-00 |
| 33VM62-220-8 | 55173-00 | 1GT101DC |
| 33VM62-220-6 | SBFP1-2222-48-23000 | IC3600VORA1A |
| 33VM62-220-3 | S20660-SRS | 073-650098-00 |
| 33VM62-220-19 | S60100-EI | 710-400180-000 |
