Tokyo Electron BX81-070097-13气门控制器 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
产品名称：BX81-070097-13 气门控制器
制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子）
产品类型：气门控制器模块（Valve Controller Module）
一、产品概述
BX81-070097-13 是一款应用于 Tokyo Electron 半导体制造设备中的气动控制模块，主要用于精确控制气阀的开关、流量调节及反馈监控，确保腔体或流程管路中的气体输送稳定、安全，并满足工艺环境的精密要求。
二、核心功能
气阀控制
通过电信号控制多个电磁阀、比例阀的开启与关闭，调节工艺气体或真空管路中的流量与压力。
状态反馈管理
实时采集气阀的开关状态、位置反馈信号，并上传至上位机系统或 PLC 进行逻辑判断与闭环控制。
通信功能
通过串行总线、TTL 或 TEL 专有协议与主控系统进行数据交换与远程控制。
故障检测与报警
模块具备自诊断能力，若出现气阀异常（卡死、失控、断线等），可实时输出报警信号。
三、典型应用设备
该气门控制器常用于以下 TEL 系列设备中：
CVD / PVD 设备（化学气相沉积、物理气相沉积）
Etcher 蚀刻设备
清洗系统（Cleaner / Ashing）
真空环境管理系统（阀门阵列、气体面板）
气体质量流量控制（MFC）协同系统
英文资料：
Product Name: BX81-070097-13 Valve Controller
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
Product type: Valve Controller Module
1、 Product Overview
BX81-070097-13 is a pneumatic control module used in Tokyo Electron semiconductor manufacturing equipment. It is mainly used for precise control of valve opening and closing, flow regulation, and feedback monitoring, ensuring stable and safe gas delivery in chambers or process pipelines, and meeting the precision requirements of the process environment.
2、 Core functions
Air valve control
Control the opening and closing of multiple solenoid valves and proportional valves through electrical signals, and regulate the flow rate and pressure in process gases or vacuum pipelines.
Status feedback management
Real time collection of valve switch status and position feedback signals, and uploading them to the upper computer system or PLC for logical judgment and closed-loop control.
communication function
Data exchange and remote control with the main control system through serial bus, TTL or TEL proprietary protocols.
Fault detection and alarm
The module has self diagnostic capability, and can output real-time alarm signals in case of valve abnormalities (jamming, loss of control, disconnection, etc.).
3、 Typical application devices
This valve controller is commonly used in the following TEL series equipment:
CVD/PVD equipment (chemical vapor deposition, physical vapor deposition)
Etcher etching equipment
Cleaning system (Cleaner/Ashing)
Vacuum environment management system (valve array, gas panel)
Gas Mass Flow Control (MFC) Collaborative System
2.产 品 展 示
3.其他产品
ABB REG670 1MRK002826-AC 安全系统组件
4.其他英文产品
ABB XVC768117 Field Input/Output Module
Eaton XV-440-10TVB-1-50 Touch Screen
FOXBORO FBM217 Voltage Monitor Module
| 6410-009-N-N-N | 6DD1680-0AC2 | TRICONEX 4329 |
| 6410-008-N-N-N | 6DD1672-0AF0 | TRICONEX 4400 |
| 6410-007-N-N-N | 6DD1672-0AD0 | TRICONEX 8307A |
| 6410-006-N-N-N | 6DD1670-0AG0 | TRICONEX 8100 |
| 6410-005 | 6DD1670-0AF0 | TRICONEX 8305 |
| 6410-001-N-N-N-LF | 6DD1663-0AB0 | TRICONEX 4509 |
| 6410-001-N-N-N | 6DD1662-0AC0 | TRICONEX 3720 |
| 6410-001-N-N-K | 6DD1662-0AB0 | TRICONEX 2770H |
