TEL Tokyo Electron 3M80-002731-12控制器模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
产品型号：3M80-002731-12
产品名称：控制器模块（Controller Module）
制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）
部件类别：主控单元 / 控制模块
一、产品概述：
3M80-002731-12 控制器模块 是 TEL（Tokyo Electron）半导体制造设备中的核心控制组件，通常用于管理工艺流程、监控设备状态并协调各子系统的运行。该模块具备高速处理能力、实时响应控制和多接口通讯能力，是整套系统运行的“大脑”。
二、主要功能：
| 功能 | 描述 |
|---|---|
| 工艺控制 | 控制和执行半导体设备的加工流程（如刻蚀、清洗、沉积等） |
| 数据采集与处理 | 实时采集来自传感器、I/O模块的数据并进行运算处理 |
| 通讯协调 | 与上位机、HMI、人机界面或其他控制模块通信 |
| 安全与报警管理 | 检测设备异常状态，及时发出报警信号并采取保护措施 |
| 接口管理 | 提供与外设、执行机构、阀门、马达等连接的标准化接口 |
三、技术参数（参考同类TEL控制器模块的设计）：
| 项目 | 参数（推测） |
|---|---|
| 处理器架构 | 嵌入式ARM或x86架构处理器 |
| 存储容量 | Flash + RAM，用于程序存储与数据缓存 |
| 电源输入 | 一般为 24V DC |
| 通讯接口 | RS-232/RS-485、以太网（Ethernet）、CAN 或 TEL 专用总线 |
| 安装方式 | 机架插卡式，支持热插拔（部分型号） |
英文资料：
Product model: 3M80-002731-12
Product Name: Controller Module
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
Component Category: Main Control Unit/Control Module
1、 Product Overview:
The 3M80-002731-12 controller module is the core control component in TEL (Tokyo Electron) semiconductor manufacturing equipment, typically used to manage process flow, monitor equipment status, and coordinate the operation of various subsystems. This module has high-speed processing capability, real-time response control, and multi interface communication capability, and is the "brain" of the entire system operation.
2、 Main functions:
Function Description
Process control and execution of semiconductor equipment processing flow (such as etching, cleaning, deposition, etc.)
Real time collection and processing of data from sensors and I/O modules for computation and processing
Communication coordination and upper computer HMI、 Communication between human-machine interface or other control modules
Security and alarm management detect abnormal states of equipment, promptly issue alarm signals, and take protective measures
Interface management provides standardized interfaces for connecting with peripherals, actuators, valves, motors, etc
3、 Technical parameters (referring to the design of similar TEL controller modules):
Project Parameters (Speculative)
Embedded ARM or x86 architecture processor with processor architecture
Storage capacity: Flash+RAM, used for program storage and data caching
The power input is generally 24V DC
Communication interface RS-232/RS-485, Ethernet, CAN or TEL dedicated bus
Installation method: Rack mounted card, supports hot swapping (some models)
2.产 品 展 示
3.其他产品
BENTLY 350022M 138607-01系统模块卡件
4.其他英文产品
REXROTH PPC-R22.1N-T-NN-P1-NN-FW servo
DELTA TAU ACC-24E2 interface simulation
ALSTOM 3EST125-975 DCC2382A Control Pane
| PMB33C-20200-03 | 07PT40 | 57120001-LK DSTY 110 |
| PMB33C-20200-02 | 07AB90-S | N43HRFM-LNK-NS-00 |
| PMB33C-20200-01 | ECZ | 57120001-U DSAI 150 |
| PMB33C-20200-00 | NKLS020 | PFTL101BER 20.0KN |
| PMB33C-20116-03 | AMAT 0100-09058 | M22NRXA-JDF-M1-00 |
| PMB33C-20116-02 | IMPCC01 | M22NSXA-LDN-M1-02 |
| PMB33C-20116-01 | 70 EA 02a-E | M22NRXB-LNF-NS-00 |
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