TEL Tokyo Electron DS1187-029773-13伺服电机模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
产品名称：伺服电机模块
产品型号：DS1187-029773-13
制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子，TEL）
部件分类：电机控制模块 / 伺服驱动控制子系统
一、产品概述：
DS1187-029773-13 是 TEL 半导体制造设备中使用的 伺服电机控制模块，该模块主要功能是驱动和控制精密运动部件，如 晶圆传送臂、升降平台、载片机械臂、旋转机构 等。
此类模块与 伺服电机本体（servo motor） 配合使用，进行精确的位置、速度和加速度控制，常用于对重复定位精度要求极高的关键部位。
二、主要功能：
| 功能类别 | 描述 |
|---|---|
| 电机控制 | 对伺服电机的启停、转向、加减速等控制指令执行 |
| 编码器反馈接口 | 接收编码器返回的位置、速度等实时数据，实现闭环控制 |
| 参数配置 | 可设定最大转速、加速度、PID控制参数等 |
| 保护机制 | 具备过载保护、温度保护、位置异常报警等功能 |
| 通信与接口 | 与上位机（PLC/主控系统）通过CAN、RS485、TEL自定义总线等方式通讯 |
三、可能的技术参数（根据TEL伺服系统通用规格推测）：
| 项目 | 典型参数范围 |
|---|---|
| 驱动方式 | 全数字闭环伺服控制 |
| 控制轴数 | 单轴或双轴控制（视具体版本） |
| 电源输入 | DC 24V / AC 100~240V（需根据设备匹配） |
| 兼容电机类型 | TEL专用伺服电机、含编码器反馈的无刷电机 |
| 位置控制精度 | 微米级（依编码器分辨率与传动结构决定） |
| 通信协议 | TEL定制、EtherCAT、RS-485、CANopen等（依设备而异） |
英文资料：
Product Name: Servo Motor Module
Product model: DS1187-029773-13
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd, TEL）
Component classification: Motor control module/servo drive control subsystem
1、 Product Overview:
DS1187-029773-13 is a servo motor control module used in TEL semiconductor manufacturing equipment. The main function of this module is to drive and control precision moving parts, such as wafer transfer arms, lifting platforms, wafer loading robotic arms, rotating mechanisms, etc.
This type of module is used in conjunction with the servo motor body for precise position, velocity, and acceleration control, and is commonly used in critical areas that require extremely high precision in repeated positioning.
2、 Main functions:
Functional category description
Motor control executes control commands such as start stop, steering, acceleration and deceleration of servo motors
The encoder feedback interface receives real-time data such as position and velocity returned by the encoder, achieving closed-loop control
Parameter configuration can set maximum speed, acceleration, PID control parameters, etc
The protection mechanism has functions such as overload protection, temperature protection, and abnormal position alarm
Communication and interface with the upper computer (PLC/main control system) through CAN, RS485, TEL custom bus and other communication methods
3、 Possible technical parameters (based on the general specifications of TEL servo system):
Typical parameter range of the project
Drive mode: fully digital closed-loop servo control
Single axis or dual axis control (depending on the specific version)
Power input DC 24V/AC 100~240V (depending on equipment matching)
Compatible with TEL specific servo motors and brushless motors with encoder feedback
Position control accuracy in micrometers (determined by encoder resolution and transmission structure)
Customized communication protocols such as TEL, EtherCAT, RS-485, CANopen, etc. (depending on the device)
2.产 品 展 示
3.其他产品
GE VMIVME-5565-010000 332-015565-010000 P反光内存模块
4.其他英文产品
AMAT 0190-11415 Digital Input Module
ABB XVC768117 Field Input/Output Module
| R46SENA-R2-SS-NV-03 | R33HENA-R2-NS-NV-02 | R43HENA-R2-NS-NV-00 |
| R46HSNA-TS-MN-VS-02 | R22HMNA-R1-NS-NV-11 | R34KENC-R2-NS-NV-00 |
| R46HSNA-R2-NS-NV-03 | R33GENA-HS-EB-NV-00 | R22GMAA-HS-LB-NV-02 |
| R46HMNA-R2-NS-NV-00 | R32GEN0-R2-NS-VS-00 | R43-HSNA-TS-EF-NV-02 |
| R46HENA-TS-NS-NV-00 | R43GCAA-R2-NS-VS-00 | R34JENC-TS-NS-NV-00 |
| R46HENA-R2-NS-VS-00 | R32SSNA-R2-NS-NV-10 | R33HENA-R2-NS-NV-00 |
| R46HENA-R2-NS-NV-00 | R24HENA-R1-NS-NV-01 | R32GEAC-R2-NS-NV-00 |
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