TEL Tokyo Electron 2981-600832-11输入输出模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
产品型号：2981-600832-11
产品名称：输入输出模块（I/O Module）
制造商：Tokyo Electron (TEL)
一、产品概述：
2981-600832-11 是一款集成了数字输入与输出功能的 I/O 模块，常用于 Tokyo Electron 各类半导体设备中，用于实现与外围装置（如传感器、执行器、阀门、限位开关等）之间的控制信号收集与驱动输出功能。
二、主要功能：
输入功能：采集外部传感器、按钮、开关等产生的数字信号
输出功能：控制电磁阀、继电器、灯、蜂鸣器等数字输出设备
实现设备内部状态检测与动作控制的信号桥梁作用
支持逻辑联动、互锁保护等控制逻辑的实现
三、技术参数（参考TEL I/O模块通用设计，具体需查原始规格书）：
| 参数项 | 内容 |
|---|---|
| 输入类型 | 数字量输入（典型24V DC，光耦隔离） |
| 输出类型 | 数字量输出（继电器或晶体管输出） |
| 通道数量 | 8 / 16 / 32 路输入 + 输出（可能组合） |
| 安装方式 | 插卡式安装，安装在TEL设备控制机架内 |
| 通信方式 | 通过TEL设备总线与控制主板连接（如PLC或IPC背板） |
| 接口形式 | 扁平排线接口或工业端子排连接 |
| 状态指示 | 模块可能集成LED指示灯显示通道状态 |
四、应用设备示例：
此模块适用于以下类型 Tokyo Electron 半导体设备中：
涂胶显影设备（Coater/Developer）
刻蚀机（Etcher）
化学气相沉积设备（CVD）
晶圆搬送系统（Wafer Handling System）
真空腔体自动化系统
安全与互锁控制模块
英文资料：
Product model: 2981-600832-11
Product Name: I/O Module
Manufacturer: Tokyo Electron (TEL)
1、 Product Overview:
2981-600832-11 is an I/O module that integrates digital input and output functions. It is commonly used in various semiconductor devices of Tokyo Electron to collect control signals and drive output functions with peripheral devices such as sensors, actuators, valves, limit switches, etc.
2、 Main functions:
Input function: Collect digital signals generated by external sensors, buttons, switches, etc
Output function: Control digital output devices such as solenoid valves, relays, lights, buzzers, etc
Realize the role of signal bridge for internal state detection and action control of equipment
Support the implementation of control logic such as logical linkage and interlock protection
3、 Technical parameters (refer to the general design of TEL I/O module, specific details can be found in the original specification sheet):
Parameter item content
Input type: Digital input (typical 24V DC, optocoupler isolated)
Output type: Digital output (relay or transistor output)
Number of channels: 8/16/32 input+output (possible combination)
Installation method: card insertion installation, installed in the TEL equipment control rack
The communication method is connected to the control motherboard (such as PLC or IPC backplane) through the TEL device bus
Interface form: Flat ribbon cable interface or industrial terminal block connection
The status indicator module may integrate LED indicator lights to display channel status
4、 Example of application device:
This module is suitable for the following types of Tokyo Electron semiconductor devices:
Coater/Developer
Etcher (Etcher)
Chemical Vapor Deposition Equipment (CVD)
Wafer Handling System
Vacuum chamber automation system
Security and interlock control module
2.产 品 展 示
3.其他产品
4.其他英文产品
ASEA ES1530b module card board
3BHE009681R0101 GVC750BE101 thyristor hi
| R67HEBA-R2-NS-VS-02 | CACR-IR-101010F | 802-5940-02 |
| R67GENA-R2-NS-VS-00 | CACR-SR09TZ6SM | EXP-VID-B |
| R67GENA-R2-NS-NV-00 | CACR-IR050505F | 11901 |
| R67BENH-R2-NS-NV-00 | CACR-HR20UB-Y9 | 61-0154-22 |
| R67BEAH-R2-NS-NV-00 | CACR-PR30BC3AFY134 | 61-0475-14 |
| R65HENA-TS-NS-NV-00 | CACR-SR15SB1AFY100 | EPC-27 |
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