TEL Tokyo Electron 3281-000095-13印刷电路板 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
一、基本信息
产品型号：3281-000095-13
产品名称：印刷电路板（PCB）
制造商：TEL（Tokyo Electron Limited，日本东京电子）
产品类别：信号处理 / 控制用途印刷电路板
修订版本：-13（代表该板的第13个版本或硬件修订）
二、主要功能（根据 TEL 编号规律及应用背景推测）
| 功能类别 | 描述 |
|---|---|
| 信号传输 | 用于设备内部模块之间的控制信号或数据通信传输。 |
| 控制逻辑桥接 | 可能作为主控板与下级执行单元之间的接口桥梁。 |
| IO 扩展 | 支持数字或模拟输入输出信号扩展，连接传感器或执行器。 |
| 辅助通信 | 可能承载 CAN、串口（RS-232/485）或 TEL 专用通信协议连接功能。 |
三、典型应用场景
该 PCB 板可能被广泛用于以下 TEL 半导体制造设备中：
光刻前后处理设备（如 ACT 系列 Coater/Developer）
蚀刻设备（如 Tactras 系列）
CVD / ALD 薄膜沉积设备
晶圆搬运模块、真空加载口系统
在这些系统中，电路板可能用于连接和驱动以下子部件：
温度/压力传感器
执行器（电磁阀、马达）
加热台或冷却装置
状态指示器或控制按钮面板
英文资料：
1、 Basic Information
Product model: 3281-000095-13
Product Name: Printed Circuit Board (PCB)
Manufacturer: TEL (Tokyo Electron Limited, Tokyo Electronics, Japan)
Product Category: Printed Circuit Board for Signal Processing/Control Applications
Revision version: -13 (representing the 13th version or hardware revision of the board)
2、 Main functions (inferred based on TEL numbering rules and application background)
Functional category description
Signal transmission is used for control signal or data communication transmission between internal modules of equipment.
Control logic bridging may serve as an interface bridge between the main control board and subordinate execution units.
IO expansion supports digital or analog input/output signal expansion, connecting sensors or actuators.
Auxiliary communication may carry CAN, serial port (RS-232/485), or TEL dedicated communication protocol connection functions.
3、 Typical application scenarios
This PCB board may be widely used in the following TEL semiconductor manufacturing equipment:
Photolithography pre-processing and post-processing equipment (such as ACT series Coater/Developer)
Etching equipment (such as Tactras series)
CVD/ALD thin film deposition equipment
Wafer handling module, vacuum loading port system
In these systems, circuit boards may be used to connect and drive the following sub components:
Temperature/pressure sensor
Actuators (solenoid valves, motors)
Heating table or cooling device
Status indicator or control button panel
2.产 品 展 示
3.其他产品
4.其他英文产品
ABB 70EB01b-E digital input module
ABB 70BV05a-ES bus controller module
| 169PLUS-100N-125VDC | PA200V-133 | 710-658041-00 |
| 169-120N-120 | PA15T-133 | 073-650069-00 |
| 169-10C-120 | PA10T-133 | 710-613108-001 |
| 169-100P-120 | PA08T-133 | 750-400159-00 |
| 1667607-00 B | PA08S-133 | 073-655650-00 |
| 1667607-00 | PA06S-133 | 705-659750-00 |
| 15664-000 | PA05S-133 | 710-212470-000 |
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