TEL Tokyo Electron SSMC-8B381-639输入输出模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
一、基本信息
产品型号：SSMC-8B381-639
产品名称：输入输出模块（I/O Module）
制造商：TEL（Tokyo Electron Limited）
模块类型：数字/模拟输入输出接口模块
应用领域：半导体制造设备的信号采集与控制
二、主要功能
数字输入：采集传感器、开关、接近传感器等数字信号状态
数字输出：控制执行器、继电器、电磁阀、指示灯等开关状态
模拟信号接口：支持部分模拟量信号输入与输出（视具体配置）
信号隔离与放大：保障信号质量，防止干扰与误动作
通信接口：与主控制系统交换信号，实现协调控制
三、应用领域
光刻前后处理系统
蚀刻与薄膜沉积设备
真空与搬运控制系统
气体与流量控制子系统
四、模块特点
高度集成，适合复杂工艺的多通道信号控制
支持工业级环境，防静电、防干扰设计
兼容 TEL 专用通信协议和设备控制架构
版本特定，保证与设备系统的高兼容性和稳定性
英文资料：
1、 Basic Information
Product model: SSMC-8B381-639
Product Name: I/O Module
Manufacturer: TEL (Tokyo Electron Limited)
Module Type: Digital/Analog Input/Output Interface Module
Application field: Signal acquisition and control of semiconductor manufacturing equipment
2、 Main functions
Digital input: Collecting digital signal status of sensors, switches, proximity sensors, etc
Digital output: Control the switch status of actuators, relays, solenoid valves, indicator lights, etc
Analog signal interface: supports partial analog signal input and output (depending on specific configuration)
Signal isolation and amplification: ensuring signal quality, preventing interference and misoperation
Communication interface: exchange signals with the main control system to achieve coordinated control
3、 Application Fields
Photolithography pre-processing and post-processing system
Etching and thin film deposition equipment
Vacuum and handling control system
Gas and Flow Control Subsystem
4、 Module features
Highly integrated, suitable for multi-channel signal control in complex processes
Support industrial grade environment, anti-static and anti-interference design
Compatible with TEL dedicated communication protocol and device control architecture
Version specific, ensuring high compatibility and stability with device systems
2.产 品 展 示
3.其他产品
4.其他英文产品
ASEA YB161102-AK Robot Computer Board
| 2VM61-020-13 | S62000 | IC3600TPSB1B |
| 2VM61-000-3 | PPC611100 | IC3600TPSB1 |
| 2VM61-000-2 | SR1000-000000 | IMDSM05 |
| 2VM61-000-1 | PSR3-23075-25-202 | 710-658268-20 |
| 2VM52-020-6 | P325 | 710-612545-004 |
| 2VM52-000-11 | SV3405-11000 | F31X133PRUAKG1 |
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