TEL Tokyo Electron 1B80-002785-11处理器模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
一、基本信息
产品型号：1B80-002785-11
产品名称：处理器模块（Processor Module）
制造商：TEL（Tokyo Electron Limited，日本东京电子）
模块类别：嵌入式控制处理器板
版本号：-11 版，表示该模块的特定修订版本
二、功能描述
该处理器模块是 TEL 半导体设备中的核心计算与控制单元，主要负责：
| 功能类别 | 说明 |
|---|---|
| 主控逻辑处理 | 执行设备操作逻辑和工艺流程控制，协调各子模块动作。 |
| 实时数据处理 | 采集并处理来自传感器、执行器的输入信号，完成高速控制反馈。 |
| 通信管理 | 处理与上位控制系统及其他模块的通信协议和数据交换。 |
| 系统协调 | 协调设备内部多个控制单元，确保工艺步骤顺利进行。 |
三、典型应用领域
光刻机前后处理系统（如 Coater/Developer）
CVD / PVD 薄膜沉积设备
蚀刻设备（Etcher）
晶圆搬运及真空传输模块
英文资料：
1、 Basic Information
Product model: 1B80-002785-11
Product Name: Processor Module
Manufacturer: TEL (Tokyo Electron Limited, Tokyo Electronics, Japan)
Module Category: Embedded Control Processor Board
Version number: -11, indicating a specific revised version of the module
2、 Function Description
This processor module is the core computing and control unit in TEL semiconductor equipment, mainly responsible for:
Function category description
The main control logic processes and executes device operation logic and process flow control, coordinating the actions of various sub modules.
Real time data processing collects and processes input signals from sensors and actuators to complete high-speed control feedback.
Communication management processing involves communication protocols and data exchange with the upper control system and other modules.
The system coordinates multiple control units within the equipment to ensure the smooth progress of process steps.
3、 Typical application areas
Pre - and post-processing systems for lithography machines (such as Coater/Developer)
CVD/PVD thin film deposition equipment
Etcher equipment
Wafer handling and vacuum transfer module
2.产 品 展 示
3.其他产品
4.其他英文产品
ASEA DSQC100 connector backplane
ABB UN0821B-P redundant output module
| 2VM62-024-4 | 8010-SLR-100 | IC3600TSKB1B |
| 2VM62-020-9 | 8010-SLM-100 | IC3600TSKB1 |
| 2VM62-020-8 | 8010-SFW50 | IC3600TRLM1A1B |
| 2VM62-020-7 | 8010-SFW401 | IC3600TRLM1A |
| 2VM62-020-5 | 8010-SFW-603 | IC3600TRLH1B1 |
| 2VM62-004-4 | 8010-SFW-601 | IC3600TRLH1B |
| 2VM62-000-7 | 8010-SFW-473 | IC3600TRLE1A |
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