TEL Tokyo Electron 1B80-002822-11控制板 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

产品型号：TEL Tokyo Electron 1B80-002822-11
产品类型：控制板（Control PCB）
制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）

一、功能概述

该控制板用于TEL半导体制造设备中，主要承担以下功能：

• 管理本地设备单元的运行（如阀门、加热器、泵等）

• 接收主控系统指令，输出控制信号

• 采集传感器数据并反馈至主控系统

• 执行联锁保护和流程逻辑控制

• 可能包括模拟与数字信号接口

二、典型应用领域

1. 刻蚀系统（Etcher）
   控制真空阀门、RF 电源、气体流量等工艺关键单元。

2. 薄膜沉积系统（CVD/ALD）
   管理温度控制、气体混合与阀门驱动逻辑。

3. 晶圆传输系统（Loadlock、Transfer Arm）
   控制机械臂、位置传感器、门禁系统动作。

4. 清洗系统或烘干模块
   控制液体输送、电磁阀及温控单元。

三、技术特性（常见）

• 多通道输入输出接口（数字/模拟）

• 通讯接口：TTL、RS485 或专用总线

• 可能内含 MCU 或逻辑控制芯片

• 信号隔离与滤波功能

• 与 TEL 控制主板、继电器板等配套使用

英文资料：

Product model: TEL Tokyo Electron 1B80-002822-11

Product type: Control PCB

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

1、 Function Overview

This control board is used in TEL semiconductor manufacturing equipment and mainly undertakes the following functions:

Manage the operation of local device units (such as valves, heaters, pumps, etc.)

Receive instructions from the main control system and output control signals

Collect sensor data and provide feedback to the main control system

Implement interlocking protection and process logic control

May include analog and digital signal interfaces

2、 Typical application areas

Etcher system

Control key process units such as vacuum valves, RF power supplies, and gas flow rates.

Thin film deposition system (CVD/ALD)

Manage temperature control, gas mixing, and valve drive logic.

Wafer Transfer System (Loadlock, Transfer Arm)

Control the actions of the robotic arm, position sensor, and access control system.

Cleaning system or drying module

Control liquid delivery, solenoid valves, and temperature control units.

3、 Technical characteristics (common)

Multi channel input/output interface (digital/analog)

Communication interface: TTL, RS485 or dedicated bus

May contain MCU or logic control chip

Signal isolation and filtering function

Used in conjunction with TEL control motherboard, relay board, etc

2.产      品      展      示      

3.其他产品

GE IS220PSCAH1A 模拟输入/输出模块

ASEA SGCP1000脉冲放大器板

Kollmorgen  CB06561 PRD-B040SSLZ-62  伺服控制器

4.其他英文产品

Kollmorgen 6SM37M-6000 servo motor

Radisys ATCA-PP81 controller module

AMAT 0190-24282 encoder module

本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网，转载请附上此链接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron  

型号：1B80-002822-11控制板

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱