KLA Tencor  720-06888-001焦点控制板机箱  PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

KLA Tencor 720-06888-001 焦点控制板机箱（Focus Control Board Chassis）是用于KLA Tencor CD-SEM（临界尺寸扫描电子显微镜）系列设备中的关键部件，主要用于聚焦系统的控制和稳定。

主要功能

• 焦点控制：用于调节电子束焦点，确保在晶圆表面实现高分辨率、高精度的成像与测量。

• 模块集成：该机箱集成焦点控制板，与图像处理、电压调节等模块协同，实现电子束的动态优化控制。

应用领域

1. 半导体制造
   应用于晶圆加工过程中的临界尺寸（CD）测量及缺陷检测，有助于工艺过程控制（Process Control）和良率提升。

2. 研发与质量控制
   在工艺开发与质量评估中，提供精确的聚焦控制，保证扫描成像质量，是CD-SEM系统不可或缺的组成部分。

技术信息

• 部件号：720-06888-001（早期版本为720-06888-000）

• 版本信息：常见为 REV: A

• 适用机型：常用于 KLA Tencor 8100XP、8100XPR、8250 等系列CD-SEM设备中

英文资料：

The KLA Tencor 720-06888-001 Focus Control Board Chassis is a key component used in the KLA Tencor CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope) series equipment, primarily for controlling and stabilizing the focusing system.

major function 

Focus control: used to adjust the focus of the electron beam, ensuring high-resolution and high-precision imaging and measurement on the wafer surface.

Module integration: This chassis integrates a focus control board, which works in conjunction with image processing, voltage regulation, and other modules to achieve dynamic optimization control of the electron beam.

application area 

Semiconductor Manufacturing

The critical dimension (CD) measurement and defect detection applied in wafer processing contribute to process control and yield improvement.

Research and Quality Control

Providing precise focus control and ensuring scanning imaging quality is an essential component of CD-SEM systems in process development and quality assessment.

Technical Information

Part number: 720-06888-001 (early versions were 720-06888-000)

Version information: commonly known as REV: A

Applicable models: commonly used in KLA Tencor 8100XP, 8100XPR, 8250 and other series CD-SEM equipment

2.产      品      展      示      

3.其他产品

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品牌：KLA Tencor

型号：720-06888-001焦点控制板机箱

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱